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Plasma Mejorado ECV horno de tubo/PECVD sistema
Introducción por PECVD Horno de tubo de
CY - PECVD es un asequible y compacto PE-CVD (Plasma Mejorado
La Deposición química de Vapor) horno de tubo de sistema con deslizantes mecanismo.
Consta de una 300W RF generador de plasma, un 2"O. D split horno de tubo y el
integrado deslizantes riel que permite precalentar y deslice el horno a la
muestra la zona con el fin de obtener su muestra un instante de la exposición a altas temperaturas.
Este sistema puede ser actualizado a la modelo avanzado con opcionales.Es una herramienta ideal para la
investigador para hacer de la innovación bajo presupuesto limitado.
Características de PECVD Horno de Tubo de
· Baja temperatura de procesamiento en comparación con las enfermedades cardiovasculares.
· Alta de calefacción y refrigeración tasa de deslizamiento del horno
· Película de estrés puede ser controlado por alta/baja frecuencia de la mezcla de técnicas.
· Control sobre la estequiometría a través de las condiciones del proceso.
· Puede hacer una amplia gama de deposición de materiales, incluyendo SiOx, SiNx, SiOxNy y
El silicio amorfo (a-Si:H) la deposición .
Parámetro para PECVD Horno de Tubo de
Split horno de Tubo de
Potencia de entrada: 208 – 240V AC, 1.2 kW 1200°C Máx.de trabajo temperatura de 1100°C Max continuo de calefacción de Alta pureza de cuarzo tubo de 2"OD x 1.7"ID x 39.4" Longitud 30 segmentos programable precisión controlador de temperatura digital de 8" (200mm), único de la zona. 2.3" (60mm)
Plasma Generador de RF
Potencia de salida: 5 -300W ajustable con ± 1% estabilidad de RF frecuencia: 13.56 MHz estabilidad de ±0.005% de Reflexión de Potencia: 200W max.Maridaje: Automático de RF Puerto de Salida: 50 Ohmios, N-tipo, hembra de Ruido: Enfriamiento: refrigeración por Aire.Potencia : 208-240VAC, 50/60Hz
Brida de vacío y Accesorios
Brida de vacío conjunto está hecho de acero inoxidable 304. A la izquierda de la brida de montaje incluye un KF-25 puerto de vacío, dos KF-25 quick clamp, un KF-25 a la derecha válvula de ángulo, un KF-25 de vacío de fuelle, una brida de apoyo 1/4 O. D conexión de la manguera, y una válvula de aguja.
La Bomba De Vacío
AC 220V 50 Hz 1/2HP 375 W 2 Litros /S o de 120 litros/m trampa de Aceite (entrada) y filtro de escape (salida) están instalados.
Garantía
Garantía limitada de un año con ascensor tiempo de apoyo ( partes Consumibles, tales
como el procesamiento de tubos, juntas tóricas y los elementos de calefacción no están cubiertos
por la garantía, por favor, para los eplacement en productos relacionados a continuación. )
Fotos detalladas de PECVD horno de tubo de
Deslizantes PECVD horno de tubo/PECVD sistema
Embalaje Y Envío
Información De La Empresa
Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd se dedica principalmente a la investigación y desarrollo, diseño,
fabricación y venta de equipos usados en las investigaciones científicas.La independencia y la innovación es el
empresa del principio.Nuestros productos principales incluyen: tubo del horno, hornos de mufla, limpiador de plasma, horno de vacío,
la atmósfera del horno,CVD sistema y personalizar los equipos de laboratorio.Bienvenida venir a visitarnos.
Preguntas frecuentes
1. Eres un fabricante o empresa de comercio ?
Sí,usted puede confiar en que estamos un fabricante profesional con experiencia completa, y
hacer negocios en domésticos y de ultramar durante muchos años.
2. No somos profesionales para la operación y la instalación de su máquina?
Si bien esto no es difícil de resolver,nuestra máquina es fácil de operar,sin necesidad de
la formación profesional,y el manual de instrucciones y vedio hacemos puede enseñar paso por paso.
Lo que es más,contamos con ingenieros profesionales , si es necesario podemos enviar a tu lado para resolver el problema.
También suministramos el servicio en línea en cualquier momento.
3. Cómo sobre el embalaje ?si la máquina dañada, ¿qué debo hacer ?
Normalmente la máquina está lleno con el caso de madera y estándar de cartón de la exportación,
madera contrachapada de cartón o como su requisito.Antes de la entrega también le enviaremos el embalaje fotos de los productos para confirmar con usted.Después de acordado, vamos a entregar.
El daño no ha sucedido antes, si sucede,vamos a organizar el reemplazo.
4. No hemos de hacer negocios antes de, ¿cómo puedo confiar en su empresa y la máquina ?
Nos han sido de ORO proveedor sin quejas en Alibaba.y nuestra máquina se han exportado a muchos países de todo el mundo